产品技术
Products
气体萃取设备
Intelligent Gas Extraction System (IGE)系列气体萃取系统，采用微波电浆化学气相沉积法(MPCVD)制备，主要用于金刚石长晶过程中的摻杂气体萃取。
技术参数
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序号 |
项目 |
规格/参数 |
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01 |
尺寸（约） |
1400 W x700D X1950H (mm) |
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02 |
重量（约） |
350 kg |
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03 |
微波功率 |
1.3kw/2.45GHZ |
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04 |
腔体材料 |
Aluminum alloy |
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05 |
冷却方式 |
Water-cooling |
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06 |
底盘高度 |
14mm |
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07 |
主要气体管道 |
H₂ |
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08 |
工作压力范围 |
10-300 torr |
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09 |
真空检漏值 |
1X10-6mbar.l/sec |
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10 |
真空泵 |
Rotary Pump(250)liters Per Min |
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11 |
CDA压力 |
2-4 kg/cm2 |
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12 |
水压 |
3-5kg/cm2 |
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13 |
电压 |
3Φ220V±10%/50Hz/60Hz |
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14 |
电流 |
20 A |
关键词：
气体萃取
金刚石
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