产品技术
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金刚石长晶设备（10kw）
Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金刚石晶体生长系统，是实现高质量金刚石晶体生长、高纯度晶体薄膜沉积、高温晶体热处理的专业设备。广泛应用于金刚石晶体生长、原料沉积、晶体热处理领域。
技术参数
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序号 |
项目 |
规格/参数 |
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01 |
尺寸(约) |
1800x1200x2100mm |
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02 |
重量(约) |
500kg |
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03 |
微波功率 |
MAX 12kw/2.45GHZ |
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04 |
微波泄漏值 |
＜5mw/cm2 |
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05 |
腔体材料 |
风冷式石英中罩式腔体，高纯石英密封环 |
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06 |
腔体保压 |
2小时保压漏率小于0.3Torr |
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07 |
主要气体管道 |
5路MFC |
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08 |
极限真空值 |
＜1.0x10-9mbar.l/s |
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09 |
极限真空 |
≤0.6Pa |
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10 |
进样口 |
底面升降进样口 |
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11 |
制程温度范围 |
0-1400℃ （MAX 1500℃） |
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12 |
工作压力范围 |
0-300Torr |
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13 |
生长速率 |
0-30μm可控 |
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14 |
有效沉积区域 |
76.8-83.6mm |
亮点
我们研发的金刚石专业设备属国内领先，设备自动化程序高、控制精度高，所生产的产品质量优，成品率高，能耗极低。生产人员拥有多年CVD法生产经验和技术。
关键词：
MPCVD
化学气相沉积法
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