产品技术
Products
气体注入设备
Intelligent Gas Injection System (IGI)系列气体注入系统，采用微波电浆化学气相沉积法(MPCVD)制备，主要用于金刚石长晶过程中的气体注入。
技术参数
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序号 |
项目 |
规格/参数 |
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01 |
尺寸 |
700(W)*580(D)*1720(H)mm |
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02 |
重量 |
150kg |
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03 |
电压 |
3Φ220V±10%/50Hz/60Hz |
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04 |
电流 |
5A |
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05 |
CDA压力 |
2-4 kg/cm2 |
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06 |
主要气体管道 |
H₂ |
关键词：
气体注入
金刚石
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