产品技术
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金刚石长晶设备（6kw）
Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金刚石晶体生长系统，是实现高质量金刚石晶体生长、高纯度晶体薄膜沉积、高温晶体热处理的专业设备。广泛应用于金刚石晶体生长、原料沉积、晶体热处理领域。
技术参数
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序号 |
项目 |
规格/参数 |
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01 |
尺寸（约） |
1450L*1130W*1880H (mm) |
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02 |
重量（约） |
380 kg |
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03 |
微波功率 |
6kw/2.45GHZ |
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04 |
腔体材料 |
Stainless Steel |
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05 |
冷却方式 |
Water-cooling |
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06 |
底盘高度 |
50mm(2inch) |
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07 |
主要气体管道 |
4路MFC |
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08 |
工作压力范围 |
10-200 torr |
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09 |
真空检漏值 |
1X10-9mbar.l/sec |
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10 |
真空泵 |
Rotary Pump[(18/22)m3/h(50/60HZ)] |
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11 |
CDA压力 |
5-7kg/cm2 |
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12 |
水压 |
5-7kg/cm2 |
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13 |
电压 |
3Φ400V±10%/50Hz/60Hz |
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14 |
电流 |
30 A |
亮点
我们研发的金刚石专业设备属国内领先，设备自动化程序高、控制精度高，所生产的产品质量优，成品率高，能耗极低。生产人员拥有多年CVD法生产经验和技术。
关键词：
MPCVD
化学气相沉积法
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